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K8凯发官网网址集团至微半导体作为国内高端集成电路装备领域代表企业,以生产、销售高端集成电路湿法制程装备为主业,重点发展单片和批次式清洗设备,广泛应用于集成电路制造 (逻辑/记忆体/三维IC)、化合物半导体、先进封装、微机电系统等领域。至微的批次式设备(6寸,8寸,12寸)已有上百台的安装实绩,并获得客户认可;12寸单片设备已有机台验收并投入量产,已接到重复订单,目前还有许多高阶制程(14/28nm)相关工艺正在应用验证中。
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